安徽離子束刻蝕射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)
【射頻離子源簡介】:國泰真空射頻離子源GTRF-17和GTRF-23,主要用于IR-Cut、濾光片等精密光學鍍膜的離子束輔助沉積和離子束清洗等,是公司技術(shù)團隊全自主研發(fā)近3年時間研發(fā)出的國產(chǎn)射頻離子源,屬于國內(nèi)大直徑射頻離子源。打破了國外制造商長期對國產(chǎn)鍍膜行業(yè)的技術(shù)封鎖,同時也激勵了國內(nèi)的同行制造業(yè)。離子源設(shè)備能促進光電產(chǎn)業(yè)升級,在國內(nèi)也是一項“卡脖子”技術(shù)。具有能量高、熱輻射低、工作時間長、對膜層污染小、能量分布均勻性好、適應(yīng)多種工作氣體的特點。真空鍍膜機故障解決方法?安徽離子束刻蝕射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)
【真空鍍膜機有哪些污染源】真空鍍膜機是由許多精密的零部件所組成的,這些零部件均經(jīng)過許多機械加工流程而制作出來,如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因為有了這些工作,導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā),從而對設(shè)備的極限真空造成影響。此外,這些機械加工帶來的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體,而到了真空狀態(tài)下,這些原先吸附的氣體也會被再次釋放出來,成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對其絕緣強度有一定的損壞,對其測量的準確性也有一定的影響;2、由于高溫蒸發(fā),會使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜;3、由于工件濺射,離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會被濺散物所污染;4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會被其蒸鍍靶材材料污染;5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng),該系統(tǒng)會受蒸發(fā)出來的物質(zhì)所污染;6、真空鍍膜設(shè)備中的擴散泵油、機械泵油等更是一da主要污染來源,鍍膜機長期工作后,設(shè)備內(nèi)部可能會形成一層油膜。河南大直徑射頻離子源制造生產(chǎn)真空鍍膜機是什么樣的?
【真空鍍膜機真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是簡單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進行了。靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應(yīng)的壓力范圍,再關(guān)閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)?!墩婵障到y(tǒng)抽氣達不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實現(xiàn)的,比較方便。當然在應(yīng)用過程中,要提高準確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測之前對容器進行凈化清洗并烘干,或者用氮氣進行沖洗。更嚴格一點可以在測量規(guī)管與容器之間設(shè)置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對可能存在的漏孔所漏進的空氣不會造成影響。
【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等高,Ti,Mo,Ta,W等低。一般在0.1-10原子/離子。離子可以直流輝光放電(glowdischarge)產(chǎn)生,在10-1—10Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。正常輝光放電(glowdischarge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點材料也容易濺鍍,但對非導(dǎo)體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達10W/cm2,非金屬<5W/cm2。真空鍍膜機的產(chǎn)業(yè)集群。
【真空鍍膜的分類】真空鍍膜的鍍層結(jié)構(gòu)一般為:基材、底漆、真空膜層、面漆,因靶材理化特性直接決定膜層的特性,根據(jù)膜層的導(dǎo)電與否,可分為導(dǎo)電真空鍍膜(VM)和不導(dǎo)電真空鍍膜(NCVM)兩種。VM:一般用在化妝品類、NB類、3C類、汽配類按鍵、裝飾框、按鍵RING類飾品的表面處理,其表面效果與水電鍍相媲美,靶材一般為鋁、銅、錫、金、銀等。NCVM:具有金屬質(zhì)感、透明,但不導(dǎo)電,一般用在通訊類、3C類對抗擾要較高的機殼、裝飾框、按鍵件、RING類飾品的表面處理,其表面效果為水電鍍不可取代,靶材一般為銦、銦錫。三、擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽的速度會顯然變慢,當操作不當應(yīng)拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。真空鍍膜機的主要應(yīng)用。安徽離子束刻蝕射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)
離子真空鍍膜機是什么?安徽離子束刻蝕射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)
國泰真空射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個負載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達采用步進電機轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負載在不同的真空環(huán)境、不同國泰射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個負載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達采用步進電機轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負載在不同的真空環(huán)境、不同阻抗快速點火。射頻部分匹配采用了硬件反饋和軟件提前記憶并預(yù)判的技術(shù);直流引入快速滅弧技術(shù),同時提高了射頻和直流部分的穩(wěn)定性,軟件設(shè)置了自檢和自診斷功能,即:使用前系統(tǒng)自檢,使用中即時刷新,對非調(diào)整性輸入的變化提前警報并告知客戶做好預(yù)案。安徽離子束刻蝕射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)
成都國泰真空設(shè)備有限公司是一家集生產(chǎn)科研、加工、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),公司成立于2013-06-26,位于成都海峽兩岸科技產(chǎn)業(yè)開發(fā)園科林西路618號。公司誠實守信,真誠為客戶提供服務(wù)。公司業(yè)務(wù)不斷豐富,主要經(jīng)營的業(yè)務(wù)包括:光學鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學真空鍍膜機,紅外鍍膜設(shè)備等多系列產(chǎn)品和服務(wù)??梢愿鶕?jù)客戶需求開發(fā)出多種不同功能的產(chǎn)品,深受客戶的好評。錦成國泰嚴格按照行業(yè)標準進行生產(chǎn)研發(fā),產(chǎn)品在按照行業(yè)標準測試完成后,通過質(zhì)檢部門檢測后推出。我們通過全新的管理模式和周到的服務(wù),用心服務(wù)于客戶。在市場競爭日趨激烈的現(xiàn)在,我們承諾保證光學鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學真空鍍膜機,紅外鍍膜設(shè)備質(zhì)量和服務(wù),再創(chuàng)佳績是我們一直的追求,我們真誠的為客戶提供真誠的服務(wù),歡迎各位新老客戶來我公司參觀指導(dǎo)。
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